3月13日，广州增芯科技有限公司迎来了一个令人振奋的时刻——其12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（简称“增芯项目”）的核心设备——光刻机正式搬入工厂。这一重要节点的到来，标志着增芯项目正式进入了调试投产准备阶段，为未来的生产运营奠定了坚实的基础。

增芯项目自启动以来就备受瞩目。作为广州半导体及集成电路产业发展的重大项目，它承载了众多期待和厚望。据悉，增芯项目一期计划投资高达370亿元，其目标不仅仅是建设一座先进的晶圆制造工厂，更是希望在国内半导体市场中占据一席之地。项目一期一阶段的建设目标十分明确，那就是具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力。这些晶圆将广泛应用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域，为我国的产业升级和科技创新提供有力支撑。

光刻机作为晶圆制造中的核心设备，其重要性不言而喻。它就像晶圆制造的照相机，通过曝光的方式将图像投射到硅片上，是集成电路制造中的关键工艺之一。增芯科技总经理张亮在介绍光刻机时表示，此次引进的光刻机产能输出速率可达到260片/小时，这一速度在行业内处于领先水平。同时， 芯片采购平台光刻机的资金投入占整个工厂建设投资的约25%，足见其在项目建设中的重要地位。

尽管我国在光刻机研发方面与国际大厂相比仍存在一定的差距，但近年来我国在半导体设备领域已经取得了长足的进步。随着首台28nm国产光刻机的成功交付，中国在光刻机技术上也取得了里程碑式的突破。这一突破不仅提升了我国在全球半导体产业链中的地位，也为国内半导体企业提供了更多的选择和可能性。

增芯科技在光刻机引进方面的决策也体现了其前瞻性和战略眼光。通过引进先进的光刻机设备，增芯科技将能够提升晶圆制造的精度和效率，进一步巩固其在行业内的竞争优势。同时，这也将为我国的半导体产业发展注入新的动力，推动整个行业向更高水平迈进。

除了光刻机的引进外，增芯科技在国产设备的使用上也取得了显著成果。据张亮介绍，目前国产装备在增芯一期项目里的使用占比已经超过了35%。这一比例的提升不仅降低了项目成本，也促进了国内半导体设备产业的发展。张亮表示，希望在二期投产的时候国产设备的使用占比能达到一半以上，这将进一步推动国内半导体产业链的完善和发展。

• 投资
• 370亿
• 年产
• 24万
• 片晶圆